壓電位移臺快反鏡，3自由度調(diào)節(jié)，高速擺鏡

簡要描述：Mirrors.Z12TxTy0101，壓電位移臺快反鏡，3自由度調(diào)節(jié)，高速擺鏡；3自由度調(diào)節(jié)偏轉(zhuǎn)，用于鏡片轉(zhuǎn)動和光路調(diào)節(jié)等應(yīng)用場景

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壓電·鏡片偏擺臺 Mirrors.Z12TxTy0101

? 3自由度調(diào)節(jié)，通孔型搖擺臺，毫秒級運(yùn)動響應(yīng)，高分辨率解決方案

• 并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計保證三自由度調(diào)節(jié)；

• 直徑10 mm 通孔；

• 最大行程 12 μm；

• ms級響應(yīng)；

• 主體材料：鋁合金 & 不銹鋼；

• 最高精度μrad級別；

• 控制器 MC – Archimedes.N3S；

• 閉環(huán)傳感器：SGS；

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電位移臺快反鏡，3自由度調(diào)節(jié)，高速擺鏡——詳細(xì)參數(shù)：

壓電位移臺快反鏡，3自由度調(diào)節(jié)，高速擺鏡——尺寸圖：

壓電位移臺快反鏡，3自由度調(diào)節(jié)，高速擺鏡

多場科技Mirrors高速擺鏡系列實現(xiàn)單軸/雙軸/三軸全運(yùn)動行程，高動態(tài)鏡片運(yùn)動控制，閉環(huán)操作；支持多自由度運(yùn)動，支持無磁，高真空兼容版本；也提供大行程鏡片運(yùn)動控制

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